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紫外臭氧清洗機(jī)(UVOzone Cleaner, UVO),是一種簡單,經(jīng)濟(jì),快速高效的材料表面清洗設(shè)備,能快速去除大多數(shù)無機(jī)基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)表面上的有機(jī)污染物。
CIF臭氧中和器(UVO-N)是紫外臭氧清洗機(jī)配套的臭氧去除設(shè)備。主要是通過納米級金屬氧化物催化劑分解臭氧,以及利用臭氧的不穩(wěn)定性加速臭氧快速流動(dòng)從而達(dá)到快速去除臭氧的目的。
紫外臭氧清洗機(jī)(UVOzone Cleaner, UVO),是一種簡單,經(jīng)濟(jì),快速高效的材料表面清洗設(shè)備,能快速去除大多數(shù)無機(jī)基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)表面上的有機(jī)污染物。
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